竹内電機のテクノロジーはさらなるステージへ

製品紹介

納入実績
京都工芸繊維大学共同研究センター
独立行政法人 産業技術総合研究所  他

本装置は昇華法による高温単結晶バルク成長装置です。高周波誘導加熱方式により短時間で2400℃の加熱を実現し、弊社独自開発のマルチゾーン温度コントローラーを内蔵することにより温度勾配を電気的に制御することが可能となりました。
また、成長に必要な各プロセスは、シーケンサー制御により自動的に処理され、カラーグラフィック画面でモニタできます。また、必要に応じタッチパネルによる操作も可能です。

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定格
加熱温度
2400℃(MAX3000℃)
ルツボ寸法
2〜6インチルツボまで取付可能
回転速度
1〜50rpm
ルツボ上下移動
電動方式
加熱コイル上下移動
上下 100mm(±50)設定温度による自動昇降
到達真空度
1×10-6 Torr台(容器のみ無負荷、常温時)
電源
3相210V 50kVA
冷却水
165リットル / min
設置面積
2120幅×2330奥×2600高さ