松江事業所

沿革

平成13年　島根県松江市に松江研究室を設置

令和5年　  松江事業所開設。熱プラズマを利用した技術開発に取り組んでいます。

インバータ式誘導加熱プラズマ装置

産学官連携の例

令和元年度　戦略的基盤技術高度化支援事業　（サポイン事業）

『高収率粒子製造を可能とするインバータ式ハイブリッドICP装置開発』

高周波熱プラズマにより生成される製品例

受託試験について

基本の装置は販売開始。ニーズに合わせたカスタマイズ、本機を使った粒子の受託試験や生産にも対応します。

セールスポイント

製造可能な精度/材質等

・ナノ粒子　：

（実績値）シリコン　数100nm　処理速度1kg/h以上

（従来）　試験レベル　処理速度　0.06kg/h程度

・球状粒子　：

（実績値）チタン系20～100µm 処理速度10kg/h以上

（従来）　試験レベル　処理速度　1kg/h程度

問題点（課題）と対応方法

・粒子非酸化回収ナノ粒子　：

　　ナノ粒子製造時の安全性向上に向け、粒子の大気非暴露、

　　および作業者のナノ粒子暴露低減に向けた開発を継続中。

・さらなる生産性向上

　　原料粒子の供給含めプロセス全体を対象に装置改良中。

関連記事・論文

＜弊社が紹介された記事等＞

• 化学装置（雑誌）：
  インバータ式高周波誘導熱プラズマ装置による粒子改質　田中暁巳　2023年 3月号
• 電気学会誌：
  半導体製造の未来を支える下町のエンジニア　2023年 6月号

＜弊社装置が使用された論文等＞

• Ti球状化処理：
  Effect of powder loading on plasma spheroidization of hydride-dehydride titanium powders
  M. Kambara1, M. Fukuda1, R. Ohta1, T. Tanaka2, A. Takeuchi2, M. Dougakiuchi3 and K. Fukuda3
  Jpn. J. Appl. Phys. 60（2021）105507 　https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac28e1
• Siナノ粒子生成：
  Feasibility of silicon nanoparticles produced by fast-rate plasma spray PVD for high density lithium-ion storage
  R Ohta4,1, T Tanaka2, A Takeuchi2, M Dougakiuchi3, K Fukuda3 and M Kambara1
  J. Phys. D: Appl. Phys. 54 (2021) 494002 　https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac23ff
• Siナノロッド化：
  Silicon nanorod formation from powder feedstock through co-condensation in plasma flash evaporation and its feasibility for lithium-ion batteries
  Akihiro Tanaka, Ryoshi Ohta, Masashi Dougakiuchi, Toshimi Tanaka, Akira Takeuchi, Kenichi Fukuda & Makoto Kambara 
  Scientific Reports 11(2021) 22445 　https://doi.org/10.1038/s41598-021-01984-y